必要に応じて加工部分全体をグローブボックス内に入れることができる
シーン別のニーズに応じて、ナノ秒パルス幅の赤外光ファイバ(1064nm)、緑光(532nm)バンド光源、ピコ秒パルス幅の赤外光ファイバ(1064nm)、緑光(532nm)、紫外線(355nm)バンド光源、フェムト秒パルス幅の赤外光ファイバ(1030nm)、緑光(515nm)バンド光源は微細レーザーエッチング、スクライブ、構造除去、スクライブ、表面リフトオフなどの応用を行う。
柔軟性PET/PI/PEN/ガラスなどの基材上のペロブスカイト太陽電池レーザーエッチングスクライブ応用。
ガラス、PET、PI、PNTなどの基板上の薄膜材料のレーザーエッチングは、タッチスクリーン、光起電太陽電池、電気から色ガラスなどの業界に応用されている。
導電性銀ペースト、ITO、FTO、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化ニッケル、トナー、金、銀、銅、アルミニウムなどの導電性金属、グラフェン、カーボンナノチューブ、酸化物、ペロブスカイト電池Spiro-OMeTAD、Perovskite、SnO2、C60、PCBM等の材料処理を行う。特にペロブスカイト電池分野の陰極、ペロブスカイト正孔輸送層、バリア層、カルシウムチタン鉱層、陽極レーザエッチングスクライブ技術に対して独自の技術優位性がある。
独自開発の制御ソフトウェアを採用し、直接導入CADデータ#データ#CCDカメラの位置決めは自動レーザーエッチングで、操作が簡単で、便利で迅速である;ソフトウェアを通じて振動鏡と直線モータ、電動昇降テーブルをリアルタイムに調整する設計を採用し、真空吸着パレット装置を加えることで、レーザーエッチング加工運転中の平穏性を効果的に解決することができる。
設備はデジタル制御技術、レーザー技術、ソフトウェア技術などの光機電高技術を一体に集め、高霊的活性、高精度、高速度などの先進的な製造技術の特徴を持っている。広範囲にわたって各種パターン、各種寸法の精密、高速エッチングを行うことができ、しかも高い生産能力を保証することができ、信頼性、安定性と高性能価格比を持つ製品である。
主な構成:レーザー、光路システム、運動制御システム、電気制御システム、位置決めシステム、集塵システム、真吸着空システム、大理石竜門構造、板金構造部品など。
モデル |
ナノ秒赤外線 ET650MIR |
ナノ秒緑光ET200MG |
ピコ秒緑光/紫外線 ET300MPS |
フェムト秒赤外線 ET300IRFS |
実験室用エッチングマシン ET200MIR |
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レーザ |
1064nm |
532nm |
532/355nm |
1030nm |
1064nm |
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波長/しゅつりょく |
20/30W |
5/10W |
10/15/30W |
20W |
20W |
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加工寸法 |
100*100/200*200/300*300/400*300/600*600/600*900/700*1400mmオプション カスタム加工可能なマグニチュード |
110*110/140*140/ 200*200mmオプション |
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レーザ周波数 |
1-2000KHz |
30-150KHz |
1-1000KHz |
25-5000KHz |
1-2000KHz |
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しんどうきょう |
10/14mmスルーホール径 |
10mmスルーホール径 |
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フォーカシングミラー |
40*40/70*70/110*110mmマグニチュード(適用シーンに応じて選択) |
100-200mmオプション |
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ビーム拡大鏡 |
2X |
8X/10X |
1.5X |
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フォーカススポット |
<30μm |
<30μm |
<10μm |
<50μm |
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最小線幅 |
<30μm |
<30μm |
<10μm |
<50μm |
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必要に応じてメッキ材料をすべて除去することができます。P4クリーンエッジ処理 | |||||||||
最小線間隔 |
<30μm |
<30μm |
<10μm |
<50μm |
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マシン全体の精度 |
±15μm |
/ |
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適用タイプ |
可撓性基材及びガラス基材の表面材料処理に両立可能 |
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Z軸モータストローク |
50mm(自動ソフトウェア制御) |
手動500mm |
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テーブル位置決め精度 |
±3μm |
/ |
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テーブル繰返し精度 |
±1μm |
/ |
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CCDカメラの位置決め精度 |
±3μm |
/ |
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エッチング速度 |
さいだいエッチングそくど4000mm/s(単線) |
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デバイスサイズ/じゅうりょう |
1200*1200*1700mm(200*200mmマグニチュード内) 約1000Kg大型及び2光路 1550*1450*1750mm(600*600mmマグニチュード内) 約1800Kg電話で連絡する |
1050*700*1660mm(L*W*H) 約300Kg |
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設備消費電力 |
<2500W |
<3000W |
<1500W |
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デバイスファイルフォーマット |
標準CAD DXFファイル |
DXF/PLT/JPGなど |
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比較 |
使用#シヨウ#P1導電層ITO/FTO単層材料処理、部分材料彫刻処理多層、特に清辺処理に速度優位性がある |
ナノ秒赤外線に比べてP1/P2/P3/ P4エッチングスクライブ、対応可能ITO/FTO、ペロブスカイト機能層、金属/カーボン電極層をエッチングするスクライブ |
ナノ秒赤外線に比べてP1/P2/P3/ P4エッチングスクライブ、対応可能ITO/FTO、ペロブスカイト機能層、金属/炭素電極層をエッチングスクライブする。優位性はエッチング下の層の上の層への損傷が小さく、エッチングエッジの影響が小さく、火口が小さい |
ピコ秒パルス幅帯域と似ており、異なるシーンに応じて選択する |
単層材料エッチングのみに対応でき、必要に応じて小型化製品の幅をカスタマイズすることができる100-200mm |
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備考:量産後は一般的に多種の波長帯レーザーを用いて併用し、単一の機械ではなくすべての膜層の製作を完成する。 | |||||||||